在集成電路芯片制造領域，北方華創微電子擁有刻蝕機、PVD、單片退火設備、氧化爐、退火(合金)爐、LPCVD以及清洗機七類產品。
經過2017年的不懈努力，這些產品已經全面在中國最主流的幾家集成電路芯片廠穩定量產。
由北方華創自主研發的應用于14nm先進制程的等離子硅刻蝕機、Hardmask PVD、Al-Pad PVD、ALD、單片退火系統、LPCVD已正式進入集成電路主流代工廠。
Hardmask PVD、Al Pad PVD設備成功進入國際供應鏈體系；12英寸65/55nm清洗機單機累計流片量已突破100萬片大關；深硅刻蝕設備也已成功進入東南亞市場。
此外，應用于28nm的Hardmask PVD系統工藝設備、應用于28/40nm的單片退火設備、應用于55nm的硅刻蝕機，均被國內領軍集成電路芯片制造企業指定為baseline機臺。
在先進封裝領域，北方華創微電子的等離子刻蝕機，PVD和Descum等設備已得到全面應用，如WLCSP、 TSV、Copper pillar bump、Gold bump等。
在CIS WLCSP應用中，北方華創微電子的PVD是世界第一條12英寸生產線baseline機臺，憑借穩定優異的表現，持續獲得重復訂單，并助力客戶不斷取得高端領域訂單。
在近幾年的新增市場中，北方華創TSV刻蝕機在中國大陸以絕對優勢，保持著較大的市場占有率。
Copper Pillar Bump方面，PVD設備已進入中國大陸前兩大封測廠生產線，Descum設備也已獲得前兩大封測廠的重復訂單；Gold Bump方面，北方華創的PVD設備在大陸主要金凸塊封測廠均實現銷售。
隨著先進封裝技術向高密度和高集成度發展，市場將更多使用到通孔技術和重布線技術，意味著有更多的等離子刻蝕和PVD設備需求，這一趨勢與北方華創微電子的核心優勢產品高度吻合。北方華創微電子將持續在該領域提供更新的技術，以及更加優質的產品和服務。
在過去的兩年中，由于物聯網、車用電子、智慧家居等領域應用廣泛推動，集成電路產業8英寸晶圓廠產能嚴重短缺，全球8英寸設備緊俏。
北方華創在8英寸設備上已積累多年。最初，北方華創微電子以集成電路領域的100納米刻蝕機起步，成功實現技術與市場的重大突破，并獲得2009年度國家科技進步二等獎。
如今市場機遇隨勢而來，公司也在不斷創新和拓展。目前我們擁有多款8英寸的成熟產品和設備，包括硅刻蝕機、氧化硅刻蝕機、金屬刻蝕機、PECVD、氧化爐、LPCVD、單片清洗機及全自動槽式清洗機等多款核心工藝設備。
作為國產設備商，我們更了解國內市場和客戶的需要，能提供更及時優質的服務，可以根據特色工藝與客戶進一步開展深度合作，在8英寸新興應用及特色工藝方面具有非常大的優勢。
來源：中國電子報
01月07日 18:14
