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三星宣布完成5納米EUV工藝研發(fā)

三星電子稱,其5納米(nm)FinFET工藝技術(shù)的開發(fā)已經(jīng)完成,現(xiàn)在可以為客戶提供樣品。通過在其基于極紫外(EUV)的工藝產(chǎn)品中添加另一個尖端節(jié)點,三星稱再次證明了其在先進晶圓代工市場的領(lǐng)導(dǎo)地位。
   4月16日消息三星官網(wǎng)發(fā)布消息稱,三星電子已經(jīng)成功完成5nm EUV開發(fā),以實現(xiàn)芯片的更大面積擴展和帶來超低功耗。

 
三星宣布完成5納米EUV工藝研發(fā)
 
 
  三星電子稱,其5納米(nm)FinFET工藝技術(shù)的開發(fā)已經(jīng)完成,現(xiàn)在可以為客戶提供樣品。通過在其基于極紫外(EUV)的工藝產(chǎn)品中添加另一個尖端節(jié)點,三星稱再次證明了其在先進晶圓代工市場的領(lǐng)導(dǎo)地位。
 
  與7nm相比,三星的5nm FinFET工藝技術(shù)將邏輯區(qū)域效率提高了25%,功耗降低了20%,性能提高了10%,從而能夠擁有更多創(chuàng)新的標(biāo)準(zhǔn)單元架構(gòu)。
 
  三星稱,5nm的另一個主要優(yōu)點是可以將所有7nm知識產(chǎn)權(quán)(IP)重用到5nm。因此,7nm客戶過渡到5nm將極大地受益于降低的遷移成本,預(yù)先驗證的設(shè)計生態(tài)系統(tǒng),從而縮短他們的5nm產(chǎn)品開發(fā)時間。
 
  “成功完成5nm開發(fā),我們已經(jīng)證明了我們在基于EUV的節(jié)點中的能力,”三星電子鑄造業(yè)務(wù)執(zhí)行副總裁Charlie Bae說。“為響應(yīng)客戶對先進工藝技術(shù)不斷增長的需求,以區(qū)分其下一代產(chǎn)品,我們繼續(xù)致力于加速基于EUV技術(shù)的批量生產(chǎn)。”
 
  2018年10月,三星宣布準(zhǔn)備并初步生產(chǎn)7nm工藝,這是其首個采用EUV光刻技術(shù)的工藝節(jié)點。該公司已提供業(yè)界首批基于EUV的新產(chǎn)品的商業(yè)樣品,并于今年初開始量產(chǎn)7nm工藝。
 
  此外,三星正在與6nm的客戶合作,這是一個定制的基于EUV的工藝節(jié)點,并且已經(jīng)收到了其首款6nm芯片的流片產(chǎn)品。
 
  三星代工廠基于EUV的工藝技術(shù)目前正在韓國華城的S3生產(chǎn)線上生產(chǎn)。此外,三星將把其EUV產(chǎn)能擴大到華城的新EUV生產(chǎn)線,該生產(chǎn)線預(yù)計將在2019年下半年完成,并從明年開始增產(chǎn)。
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