據國外媒體報道,半導體行業光刻系統供應商ASML(阿斯麥)去年交付了26臺極紫外光刻機(EUV),調查公司Omdia表示,其中約一半面向大客戶臺積電。ASML此前公布,2019年,共向客戶交付了26臺極紫外光刻機。其中,在第四季度交付了8臺。ASML還透露,去年交付的26臺極紫外光刻機中,有9臺是最新型號,即NXE:3400C。
英國調查公司Omdia推測稱,ASML去年交付的26臺極紫外光刻機,大約一半面向臺積電。
臺積電2019年正式啟動7nm產品的量產,這只能通過波長極短的EUV進行操作。資料顯示,EUV光源波長比目前深紫外線微影的光源波長短少約15倍,因此能達到持續將線寬尺寸縮小的目的。
在晶圓代工領域,臺積電掌握了全球約一半份額。
另外,三星電子、英特爾等也采購了ASML的極紫外光刻機設備。
ASML服務的客戶為全球主要的半導體制造商,打造在電力電子、通信和信息技術產品中廣泛應用的芯片。
ASML公司總部位于荷蘭的Veldhoven市。生產基地和研發設施則位于康涅狄格州、加州、中國臺灣和荷蘭。科技發展中心及訓練設施位于日本、韓國、荷蘭、中國臺灣和美國。
ASML在阿姆斯特丹泛歐證券交易所和納斯達克上市。周三收盤,ASML(NASDAQ:ASML)股價上漲2.2%至278.58美元,總市值約1169.51億美元。